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上海激光打標(biāo)機(jī)加工中淀積溫度的作用淀積溫度也是重要的工藝參數(shù)之一。由于上海激光打標(biāo)機(jī)加工中淀積機(jī)制的不同，對(duì)淀積膜質(zhì)量的影響程度也不同。同一反應(yīng)體系在不同溫度下，上海激光打標(biāo)機(jī)加工中淀積膜可以是單晶、多晶、非晶相結(jié)構(gòu)，甚至根本不發(fā)生淀積。一般地說．提高淀積溫度可以使淀積速度加快，同時(shí)，由于提高了成品粒子的遷移能力和能量，往往會(huì)使淀積膜的結(jié)構(gòu)和形貌都得到改善。然而，溫度太高則可能引起淀積物的蒸發(fā)和剝離，反而降低生長(zhǎng)速率。淀積溫度還影響淀積膜的純度。

 一股襯底材料的純度不是很高，上海激光打標(biāo)機(jī)加工中淀積溫度較高時(shí)，襯底內(nèi)的雜質(zhì)可能揮發(fā)，以氣相淀積的方式進(jìn)入淀積膜，或直接經(jīng)過襯底—淀積膜界面進(jìn)入淀積膜，這就降低了淀積膜的質(zhì)量，這種現(xiàn)象稱為‘自摻雜效應(yīng)”。

為避免自摻雜效應(yīng)，淀積溫度應(yīng)盡可能的低。上海激光打標(biāo)機(jī)加工中的另一方面，外延生長(zhǎng)時(shí)，持別是異質(zhì)外延生長(zhǎng)時(shí)，兩種材料的熱學(xué)性質(zhì)不同，因熱失配形成的應(yīng)力會(huì)在界面造成大量結(jié)構(gòu)缺陷，并向外延層傳播。由于這種應(yīng)力的作用，也可能產(chǎn)生新的錯(cuò)位等缺陷，因此在上海激光打標(biāo)機(jī)加工中也要求盡量采用較低的襯底溫度。